【摘要】对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结，并讨论了其应用场合和测试范围，在此基础上分析得m非接触式光学测试方法受到众学者的青睐，微视觉测量是MEMS静态测试技术的一个主要发展方向。
【关键词】
《绍兴文理学院学报》 2015-10-14
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》 2015-10-14
《大连交通大学学报》 2015-10-14
《绍兴文理学院学报》 2015-10-14
《中国乡镇企业会计》 2015-10-16
《中国乡镇企业会计》 2015-10-16
《中国乡镇企业会计》 2015-10-16
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010-56259535
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